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ステッパー :STEPPER

• PSSの製作過程中で光の広さの要求から見れば、普通の露光装置の図形サイズとMask plateサイズの比例は1:1で、目前のPSSの精度の要求に達していないです。現在NIKON STEPPERは5:1の投影型露光装置があります。今世界各国、PSSの市場で多くのIC中古NIKONステッパーを使い、PSS製作の標準配置になりました。 (以下のリンクをクリック或いはダウンロードしてください:PSSプロセス紹介)



コータ/デベロッパ装置

• 高速回転した方式でウェーハ上にフォトレジストを塗布した後、アームでウェーハを加熱板に送り、均一に乾燥させ、冷却板で温度を下げます。カセットとカセットの間はすべて自動化処理されます。 カセットとカセットの間はすべて自動化処理されます。(以下のリンクをクリック或いはダウンロードしてください:PSSプロセス紹介)


MALN BODY
TRANSFER ROBOT
SPIN UNIT
MULTI-STAGE OVEN