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스테퍼 :STEPPER

PSS제작중에 광선의 너비에 대한 요구를 생각한다면 보통노광기도형사이즈와Mask plate사이즈는 1:1인데 현재의 PSS광선너비의 정도요구를 만족할수 없습니다.현재NIKON STEPPER인 5:1의 스테퍼가 있습니다.지금 세계 각 나라의 PSS시장에서PSS제작의 표준형식은 IC중고NIKON스테퍼를 사용하는것입니다. (클릭혹은 다운로드가능함:PSS공정소개)



Coater & Developer장비

고속도로 회전하는 방식으로 기판위에 현상액을 균일하게 연속적으로 도포하고 기계손으로 기판을 가열판위에 반송하여 균일하게 건조시킨 후 랭판위에서 온도를 내립니다.카세트와 카세트사이의 처리과정은 모두 자동화로 되였습니다. 全过程自动化的从片盒到片盒之间处理。(클릭혹은 다운로드가능함:PSS공정소개)


MALN BODY
TRANSFER ROBOT
SPIN UNIT
MULTI-STAGE OVEN