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Item No Description Name Model Vintage Manufacturer S/N
1 VT-001 Implanter 离子注入机 NV-GSD-A-80 1994年 Sumitomo  Eaton Nova 131
2 VT-002 Implanter 离子注入机 NV-GSDⅢ-90 1999年 Sumitomo  Eaton Nova 215
3 VT-003 Implanter 离子注入机 NVGSD III 1997年 EATON SED  GSDIII 10
4 VT-004 Implanter 离子注入机 NH-20SR 1989年 日新NISSIN  
5 VT-005 Implanter 离子注入机 NH-20SR 1989年 日新NISSIN  
6 VT-006 Implanter 离子注入机 E500 1996年 Varian 0037279
7 VT-007 Stepper  光刻机 NSR-2005i8A 1992年 Nikon 803164
8 VT-008 Stepper  光刻机 PLA-501FA 1996年 Canon  
9 VT-009 Lithography 光刻机 PLA600 1996年 Canon 90080502
10 VT-010 Etcher 干法刻蚀机 TE-5000S 1993年 TEL 5K3311
11 VT-011 Etcher 干法刻蚀机 TE-5000S 1993年 TEL 5K3342
12 VT-012 Etcher 干法刻蚀机 CDE-7-3A 1989年 Shibaura 903B-06
13 VT-013 Etcher 干法刻蚀机 CDE-7-3A 1989年 Shibaura 903B-05
14 VT-014 Etcher 干法刻蚀机 TE480HGC 1989年 TEL 490364
15 VT-015 Etcher 干法刻蚀机 TE480HGC 1989年 TEL 490365
16 VT-016 Etcher 干法刻蚀机 M-308AT 1993年 日立制作所 93E1437240
17 VT-017 Etcher 干法刻蚀机 MAS-801 1990年 Alcan Tech 81030
18 VT-018 Etcher 干法刻蚀机 MAS-801 1990年 Alcan Tech 81026
19 VT-019 Etcher 干法刻蚀机 MAS-801 1990年 Alcan Tech 81031
20 VT-020 Etcher 干法刻蚀机 MAS-801 1990年 Alcan Tech 81029
21 VT-021 Etcher 干法刻蚀机 μASH8100 1997年 Shibaura  
22 VT-022 Etcher 湿法刻蚀机 RST-201J 2000年 Semiconductor-Equipment Co., Ltd. J017
23 VT-023 Etcher 干法刻蚀机 LAM4500 1995年 LAM RESEARCH 5055
24 VT-024 Etcher 干法刻蚀机 LAM4500 1994年 LAM RESEARCH 5074
25 VT-025 Etcher 干法刻蚀机 LAM4500 1994年 LAM RESEARCH 5134
26 VT-026 Scrubber 刷片机 SS-W80A-AV(可能没有) 1997年 DAINNIPPON SCREEN MFG. CO.,LTD. 57700-2278
27 VT-027 UV BAKE 紫外线固胶机 UMA-802-HC551RM 1994年 USHIO INC. 937002
28 VT-028 UV BAKE 紫外线固胶机 UMA-802-H55RM 1989年 USHIO INC. 892004
29 VT-029 UV BAKE 紫外线固胶机 UMA-802-H55RM 1989年 USHIO INC. 892003
30 VT-030 Reticle Inspection 掩膜版测试仪 MAC-92CV 1997年 TOKYO KOKUKEIKI K.K 3012
31 VT-031 RTA 快速退火炉 Heatpulse 610 1991年 AG ASSOCIATES 8911320-05
32 VT-032 RTA 快速退火炉 4100S 1994年 AG ASSOCIATES 1C95199
33 VT-033 OVEN 烘箱 DI-200H-AR 1995年 DAN SCIENCE CA1K40
34 VT-034 Developer 显影机 SD-W60A-AVPE 1993年 DAINIPPON SCREEN MFG.CO.,LTD. 53700-6397
35 VT-035 Developer 显影机 Mark-II 1989年 TEL 291035
36 VT-036 Developer 显影机 Mark-II 1989年 TEL 291037
37 VT-037 Developer 显影机 MARK-Vz 1995年 TEL 615278
38 VT-038 Developer 涂胶机 MARK-Vz (3C) 1995 TEL 615278
39 VT-039 Coater 涂胶机 SCW-60A-AV 1993年 DAINIPPON SCREEN MFG.CO.,LTD. 53700-6370
40 VT-040 Coater 涂胶机 MARK-V 1994年 TEL 614106
41 VT-041 Coat/Deve  涂胶显影机 MSX1000 2006年 SVS C000009
42 VT-042 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK-V 1992年 TEL 522760
43 VT-043 SOG 旋转涂膜机 SCW-622-BV 1989年 DAINIPPON SCREEN MFG.CO.,LTD. 88700-4029
44 VT-044 Asher 去胶机 μASH8100 1996年 Shibaura ATP003140
45 VT-045 Asher 去胶机 DES-212-258AV 1984年 Plasma System Corp. 84038-84/7
46 VT-046 Asher 去胶机 DES-212-304AV 1990年 Plasma System Corp. 84077-85/4-2
47 VT-047 Asher 去胶机 DES-212-304AV 1990年 Plasma System Corp. 84077-85/4-3
48 VT-048 Asher 去胶机 DES-212-304AV 1990年 Plasma System Corp. 84077-85/4-8
49 VT-049 Asher 去胶机 DES-212-304AVⅢ 2001年 Plasma System Corp. 88051
50 VT-050 CVD 化学气相淀积设备 Concept One   NOVELLUS 97-38-3035
51 VT-051 CVD 化学气相淀积设备 5000PLATFORM 1995年 Applied Materials 4683
52 VT-052 LPCVD 低压化学气相淀积设备 USC-6·C-2·2-6 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-1030
53 VT-053 LPCVD 低压化学气相淀积设备 USC-6·C-1·3-4 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103C
54 VT-054 LPCVD 低压化学气相淀积设备 ALPHA-8C 1994年 TOKYO ELECTRON LIMITED 300009450062
55 VT-055 LPCVD 低压化学气相淀积设备 UL-2604-08-LS 1989年 TOKYO ELECTRON LIMITED 880098
56 VT-056 LPCVD 低压化学气相淀积设备 UL-2604-08-LS 1990年 TOKYO ELECTRON LIMITED 40042
57 VT-057 LPCVD 低压化学气相淀积设备 UL-2604-08-LS 1988年 TOKYO ELECTRON LIMITED 01-MA3053
58 VT-058 LPCVD 低压化学气相淀积设备 UL-2604-08-LS 1993年 TOKYO ELECTRON LIMITED 280012
59 VT-059 Diff 扩散炉 UL-2604-08-HS 1989年 TOKYO ELECTRON LIMITED 880096
60 VT-060 Diff 扩散炉 UL-2604-08-HS 1988年 TOKYO ELECTRON LIMITED 01-MA3054
61 VT-061 Diff 扩散炉 UL-2604-08-HS 1988年 TOKYO ELECTRON LIMITED 01-MA3055
62 VT-062 Diff 扩散炉 UL-2604-08-HS 1989年 TOKYO ELECTRON LIMITED 880097
63 VT-063 Diff 扩散炉 UL-2604-08-HS 1989年 TOKYO ELECTRON LIMITED 880095
64 VT-064 Diff 扩散炉 VDF-615 1991年 TOKYO ELECTRON LIMITED VF195152
65 VT-065 Diff 扩散炉 USD-6·D-8·3-7 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-1030
66 VT-066 Diff 扩散炉 USD-6·D-8·3-8 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103B
67 VT-067 Diff 扩散炉 USD-6·D-7·3-2 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103B
68 VT-068 Diff 扩散炉 USD-6·D-11·2-2 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103B
69 VT-069 Diff 扩散炉 USD-6·D-12·2-1 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103B
70 VT-070 Diff 扩散炉 USD-6·D-5·3-2 1989年 DENKO SYSTEMS INC. 821-103B
71 VT-071 Diff 扩散炉 VDF610S 1989年 TEL SAGAMI LIMITED 930070
72 VT-072 Diff 扩散炉 DJ-853V 1996年 Kokusai Electric Co., Ltd. DC3-10677-5
73 VT-073 SPUTTER 溅射台 ECLIPSE 1997年 Materials Research Corp. 48630
74 VT-074 SPUTTER 溅射台 PDU-MKIV 2001年 Tokyo Electron Arizona, Inc S74
75 VT-075 SPUTTER 溅射台 Varian 3290 1989年 Varian 88739-649
76 VT-076 RS  电阻率测试仪 RG-8 1990年 NAPSON 9005-133
77 VT-077 Reticle paticle Ins 光刻板颗粒测试仪 VPRA-6 2003年 Yoshida  
78 VT-078 X-RAY 硼磷含量测试仪 Rigaku 3630   RIGAKU INDUSTRIAL CORPORATION  
79 VT-079 Epitaxial Furnace  外延炉 EGV-28GX 1998 TOSHIBA MACHINE CO., LTD. 1203
80 VT-080 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.2 Nikon 93027
81 VT-081 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.2 Nikon 93024
82 VT-082 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.5 Nikon 93051
83 VT-083 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.9 Nikon 93064
84 VT-084 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.5 Nikon 93050
85 VT-085 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.10 Nikon 93067
86 VT-086 Stepper 光刻机 NSR1505i7A 1990.2 Nikon 93026
87 VT-087 Stepper 光刻机 NSR1755i7A 1991.8 Nikon 94151
88 VT-088 Stepper 光刻机 NSR1755i7A 1998.3 Nikon 94035
89 VT-089 Stepper 光刻机 NSR1755i7B 1994.6 Nikon 94608
90 VT-090 Stepper 光刻机 NSR1755i7B 1995.9 Nikon 94627
91 VT-091 Etcher 刻蚀机 Lam490 1987 LAM 1652
92 VT-092 Etcher 刻蚀机 Lam490 1987 LAM 1510
93 VT-093 Etcher 刻蚀机 Lam490 1990 LAM 1726
94 VT-094 Etcher 刻蚀机 Lam590 1999 LAM 1247
95 VT-095 Etcher 刻蚀机 Lam590 1988 LAM 1656
96 VT-096 Etcher 刻蚀机 Lam590 1990 LAM 1795
97 VT-097 Stepper 光刻机 NSR-2005G8C 1995 Nikon 801092
98 VT-098 Tester 扫描电镜 S-8620 1996.3 Hitachi,Ltd. 8607-05
99 VT-099 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK-Vz 1995.9 TEL(TOKYO ELECTRON KYUSYU LIMITED) 615411
100 VT-100 Metrology & Inspection 等离子刻蚀机 4420 1990 LAM RESEARCH 4050,
101 VT-101 Diffusion 扩散炉 DJ-802V 1998 国際電気株式会社 T2DC1-10981-1
102 VT-102 Etcher 等离子刻蚀机 DES-312-304AVL 1990 Plasma System Corp. 94030
103 VT-103 Tester 测试仪 TP500 2003 THERMA-WAVE TP5105
104 VT-104 Implanter 离子注入机 NV-GSD-A-160 1994.6 SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION F62
105 VT-105 Coat/Deve  涂胶显影机 SC-W80A-AVFG 1996.12 DAINIPPON SCREEN MFG CO., LTD. 56700-2172
106 VT-106 Etcher 等离子刻蚀机 TE-8500SATC 1996.6 TEL(東京エレクトロン株式会社) K85660
107 VT-107 B P Tester 硼磷含量测试仪 3620 1986 Rigaku Denki Kogyo Co., Ltd. JR24003
108 VT-108 Etcher 等离子刻蚀机 4500 1990 LAM RESEARCH N/A
109 VT-109 Etcher 等离子刻蚀机 4500 1990 LAM RESEARCH 5129,
110 VT-110   紫外固胶机 PCU 1995 FUSION PU7A345AB
111 VT-111 tape 贴膜机 Detaper   NITTO SEIKI 2006
112 VT-112 tape 贴膜机 Detaper   NITTO SEIKI 2007
113 VT-113 tape 贴膜机 Detaper   TAKATORI 2008
114 VT-114 Implanter 离子注入机 E220 1996.01 ION IMPLANT SYSTEM 037282
115 VT-115 LTO 化学气相淀积设备 P-5000CVD 1990.9.15 AMJ 5524
116 VT-116 Sputter 物理气相淀积设备 Endura5500 1993 AMJ 3136
117 VT-117 Predepo 注入机 PI-9500 1995.1.6 AMJ M205
118 VT-118 stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1990.11 Nikon 96049
119 VT-119 stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1991.08 Nikon 96155
120 VT-120 stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1991.1 Nikon 96156
121 VT-121 stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1990.11 Nikon 96046
122 VT-122 stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1991.08 Nikon 96152
123 VT-123 LTO 化学气相淀积设备 P-5000CVD 1990.4.21 AMJ 5420
124 VT-124 P-CVD 化学气相淀积设备 P-5000CVD 1989.9.21 AMJ 5330
125 VT-125 RIE(Al-Si) 等离子刻蚀机 P-5000Etch 1993.5.28 AMJ 6468
126 VT-126 RIE(Al-Si) 等离子刻蚀机 P-5000Etch 1991.5.15 AMJ 6253
127 VT-127 Thickness 膜厚测量仪 M-215 1989.05 Nanometrics 0889-H6007
128 VT-128 Thickness 膜厚测量仪 M-215 1989.05 Nanometrics 0389-H6006
129 VT-129 全反射蛍光X線装置(TREX) 缺陷测量仪 TREX-610 1995.9 TECHNOS 960E-007
130 VT-130 αステップ測定器 探针台 P-1 1990 KLA 0391-0448
131 VT-131 シ-ト抵抗器 方块电阻测量仪 OmniMap Auto RS35C 1990 KLA 950813RS3504
132 VT-132 Diffusion 扩散炉 UL-2604-08 1989.07 TOKYO ELECTRON LIMITED 920018
133 VT-133 Diffusion 扩散炉 UL-2604-08 1989.07 TOKYO ELECTRON LIMITED 920019
134 VT-134 Diffusion 扩散炉 UL-2604-08 1989.07 TOKYO ELECTRON LIMITED 920020
135 VT-135 Etching System 刻蚀机 P-5000 1998 Applid Materials 7430
136 VT-136 Aligner 光刻机 PLA-501FA 1992 Canon 2031454
137 VT-137 Aligner 光刻机 PLA-501FA 1993 Canon 2041470
138 VT-138 Aligner 光刻机 PLA-501FA 1995 Canon 305193
139 VT-139 Aligner 光刻机 MPA-500FA 1995 Canon 305194
140 VT-140 Aligner 光刻机 MPA-500FA 1995 Canon 304189
141 VT-141 Aligner 光刻机 MPA-500FAb 1996 Canon 310307
142 VT-142 Aligner 光刻机 MPA-500FAb 1995 Canon 501552
143 VT-143 Aligner 光刻机 MPA-500FAb 1996 Canon 501553
144 VT-144 Aligner 光刻机 MPA-500FAb 1996 Canon 9007667
145 VT-145 Dicer 减薄机 DFG-841 1996 Disco HW1079
146 VT-146 Laser Marker 打标机 SL-473F 1997 NEC laser Automation
(Omron Laser Front)
0014
147 VT-147 Probing Machine 探针台 P-8 1995/4 Tokyo Electron PA00815
148 VT-148 Coater 涂胶机 SCW-636 1995 DAINIPPON SCREEN MFG CO., LTD. 52700-1591
149 VT-149 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1989.12 Nikon 83217
150 VT-150 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1989.04 Nikon 81462
151 VT-151 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1989 Nikon 81411
152 VT-152 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1989 Nikon 81269
153 VT-153 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1988 Nikon 81239
154 VT-154 stepper  光刻机 NSR-1505G6E 1988 Nikon 81186
155 VT-155 stepper  光刻机 NSR-2005i10C 1994 Nikon 1004021
156 VT-156 Etcher 干法刻蚀机 PRECISION5000 1995 Applied Materials 4282
157 VT-157 test 线宽测试仪 S-8840 1997 HITACHI 9101——06
158 VT-158 Sputter 物理气相淀积设备 ECLIPSE 1992 MATERIAL PESEARCH 96539-822
159 VT-159 Sputter 物理气相淀积设备 ECLIPSE 2003 MATERIAL PESEARCH 42779
160 VT-160 stepper  光刻机 NSR-2005i8C 1991 Nikon 803067
161 VT-161 stepper  光刻机 NSR-2005i9C 1993 Nikon 904074
162 VT-162 Dicer 减薄机 DFG840 1996 Disco EN1165
163 VT-163 Dicer 减薄机 DFG841 2000 Disco HW1194
164 VT-164 stepper  光刻机 NSR-2005i9C 1994 Nikon NSR629
165 VT-165 Implanter 注入机 GSD-Ⅲ-90 / / /
166 VT-166 stepper  光刻机 NSR-1755G7A 1996 kokusai Electric Co., Ltd. 96144
167 VT-167 stepper  光刻机 NSR-2005i8A 1996 kokusai Electric Co., Ltd. 803099
168 VT-168 Diff 扩散炉 DJ-853V 1996 kokusai Electric Co., Ltd. DC1-10627-1
169 VT-169 Diff 扩散炉 DJ-853V 1996 kokusai Electric Co., Ltd. DC1-10634-7
170 VT-170 CVD 化学气相淀积设备 Concept One 1996 NOVELLUS 76-00071-00
171 VT-171 CVD 化学气相淀积设备 Concept One 2001 NOVELLUS 96-00019-00
172 VT-172 Implanter 离子注入机 GSD-Ⅲ-90 1995 SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION S94D0900
173 VT-173 CVD 化学气相沉积设备 PRECISION5000 1993.11.17 Applied Materials 4142
174 VT-174 CVD 化学气相沉积设备 PRECISION5000 1992.03.31 Applied Materials CA5788
175 VT-175 Stepper 光刻机 NSR-1505G7E   Nikon PA13
176 VT-176 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA75
177 VT-177 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA23
178 VT-178 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA31
179 VT-179 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA27
180 VT-180 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA17
181 VT-181 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA06
182 VT-182 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA09
183 VT-183 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA29
184 VT-184 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA07
185 VT-185 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA32
186 VT-186 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA26
187 VT-187 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA14
188 VT-188 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon PA01
189 VT-189 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon ST15
190 VT-190 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon ST14
191 VT-191 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon L01
192 VT-192 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon L01
193 VT-193 Etcher 干法刻蚀机 Lam9600SE 1996 LAM RESEARCH 4563
194 VT-194 Etcher 干法刻蚀机 Lam9600SE 1996 LAM RESEARCH 4571
195 VT-195 Sputter 物理气相淀积设备 ECLIPSE     SCGY01
196 VT-196 Diff 扩散炉 DD-802V     SCGY02(15227)
197 VT-197 Sputter 溅射台 MRC     21217
198 VT-198 Sputter 溅射台 MRC     19994
199 VT-199 Stepper 光刻机 I9C 1992 Nikon 904026
200 VT-200 Stepper 光刻机 I9C 1993 Nikon 904069
201 VT-201 Stepper 光刻机 I11D   Nikon 1106045
202 VT-202 Stepper 光刻机 I11D   Nikon 1105169
203 VT-203 Etcher 刻蚀机 Lam9600SE   LAM RESEARCH 4662
204 VT-204 Etcher 刻蚀机 Lam9600SE   LAM RESEARCH 4685
205 VT-205 Aligner 光刻机 PLA-501FA   Canon 2031455
206 VT-206 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1990 Nikon 96076
207 VT-207 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C   Nikon 1004043
208 VT-208 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A   Nikon 96210
209 VT-209 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A   Nikon 96267
210 VT-210 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A   Nikon 96258
211 VT-211 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A   Nikon 96116
212 VT-212 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C     1004091
213 VT-213 Stepper 光刻机 NSR-2205i11D     1105373
214 VT-214 Stepper 光刻机 NSR2005I9C 1993 Nikon 904064
215 VT-215 Track 涂胶显影机 DNS60 1993 DAINIPPON SCREEN MFG CO., LTD 53700-6367
216 VT-216 Stepper 光刻机 NSR-2005i8A 1993 Nikon 803190
217 VT-217 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C   Nikon 1004027
218 VT-218 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C   Nikon 1004014
219 VT-219 test 电阻测试仪 RS55     2003
220 VT-220 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C 1994 Nikon 1006004
221 VT-221 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK8 1996 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 826836
222 VT-222 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK8 1995 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 825355
223 VT-223 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK8 1995 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 825355KS
224 VT-224 Coat/Deve  涂胶显影机 MARK8 1995 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 826836KS
225 VT-225 Stepper 光刻机 NSR-2205il2D 2000 Nikon 1208503
226 VT-226 Coat/Deve  涂胶显影机 Mark7 1997 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 7171130
227 VT-227 Coat/Deve  涂胶显影机 Mark7 1997 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED 7171131
228 VT-228 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1982 Canon 207083
229 VT-229 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1983 Canon 311314
230 VT-230 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1983 Canon 311316
231 VT-231 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1984 Canon 409474
232 VT-232 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1984 Canon 407427
233 VT-233 Stepper 光刻机 MPA-500FA 1984 Canon 403465
234 VT-234 Stepper 光刻机 PLA-501FA 1983 Canon 3121905
235 VT-235 Implanter 注入机 GSD-Ⅲ-90 1995 Sumltomo Eaton Nova Corporation 154
236 VT-236 Etcher 干法刻蚀机 9400 1995 LAM RESEARCH 4638
237 VT-237 Etcher 干法刻蚀机 9600SE 1995 LAM RESEARCH 4571
238 VT-238 Etcher 干法刻蚀机 4720 1994 LAM RESEARCH 3915
239 VT-239 Implanter 注入机 E220EHP 1999 Varian ES193564
240 VT-240 Diff 扩散炉 DJ-802V 1990 国际电器株式会社 B1DD1-00882
241 VT-241 Diff 扩散炉 DJ-802V 1989 国际电器株式会社 D4VK11235
242 VT-242 Stepper 光刻机 NSR-2005i8A 1992 Nikon 803008
243 VT-243 Implanter 注入机 NV-GSD-A-160 1993 EATON 183
244 VT-244 Implanter 注入机 E220   ION IMPLANT SYSTEM 00370400
245 VT-245 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon DQ001
246 VT-246 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon DQ002
247 VT-247 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon DQ003
248 VT-248 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon DQ004
249 VT-249 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon DQ005
250 VT-250 Sputter 溅射台 MRC      
251 VT-251 Diff 扩散炉 IW-6 1994 TEL 100009425007
252 VT-252 Diff 扩散炉 IW-6 1995 TEL 100009555021
253 VT-253 Track 涂胶显影机 SCW-636-BV 1988 DNS 88700-1301
254 VT-254 Stepper 光刻机 NSR-2005G8C 1993 Nikon 801069
255 VT-255 Stepper 光刻机 NSR-2005G8C 1995 Nikon 801093
256 VT-256 CVD 等离子刻蚀机 CONCEPT ONE 1989 NOVELLUS 89-30-C0402
257 VT-257 CVD 等离子刻蚀机 CONCEPT ONE 1999 NOVELLUS 99-40-C1822
258 VT-258 Implanter 注入机 NV6200AV 1993 EATON 764
259 VT-259 Implanter 注入机 NV6200AV 1995 EATON 793
260 VT-260 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T06
261 VT-261 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T07
262 VT-262 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T08
263 VT-263 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T09
264 VT-264 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T10
265 VT-265 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T11
266 VT-266 Diff 扩散炉 UL-2604-08-H     T01
267 VT-267 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E   Nikon 81304
268 VT-268 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C   Nikon 1004015
269 VT-269 SPUTTER 溅射台 XM-90 1992 Varian 88222-081
270 VT-270 Stepper 光刻机 NSR-2005i9C 1996 Nikon 4571
271 VT-271 Etcher 干法刻蚀机 Lam9600   LAM RESEARCH 4303
272 VT-272 Etcher 干法刻蚀机 Lam9400   LAM RESEARCH 4534
273 VT-273 Etcher 干法刻蚀机 Lam9400   LAM RESEARCH 4343
274 VT-274 Etcher 干法刻蚀机 Lam9400   LAM RESEARCH 4480
275 VT-275 P-CVD 化学气相淀积设备 P-5000CVD 1991 Applied Materials 5662
276 VT-276 P-CVD 化学气相淀积设备 P-5000CVD 1991 Applied Materials 5730
277 VT-277 P-CVD 化学气相淀积设备 WJ999 2004 WATKINS-JOHNSON 4659
278 VT-278 Stepper 光刻机 NSR-2005i8A 1992 Nikon 803191
279 VT-279 Stepper 光刻机 NSR-2005i8A 1992 Nikon 803187
280 VT-280 Stepper 光刻机 NSR-1505G6E 1998 Nikon 81325
281 VT-281 Stepper 光刻机 NSR-1755i7B 1986 Nikon 94634
282 VT-282 Stepper 光刻机 NSR-2005i9C 1992 Nikon 904012
283 VT-283 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1990 Nikon 96159
284 VT-284 Stepper 光刻机 NSR-1755G7A 1993 Nikon 96301
285 VT-285 Track 涂胶显影机 CLEAN TRACK 1993 TEL 523806
286 VT-286 Track 涂胶显影机 CLEAN TRACK 1993 TEL 523840
287 VT-287 Stepper 光刻机 NSR-2005i9C   Nikon 904198
288 VT-288 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C   Nikon 1006035
289 VT-289 Stepper 光刻机 NSR-2205i11C   Nikon 1106070
290 VT-290 Stepper 光刻机 NSR-2005i10C 1994 Nikon 1004095
291 VT-291 CVD 等离子刻蚀机 CONCEPT ONE   NOVELLUS 96-06-2071
292 VT-292 CVD 等离子刻蚀机 CONCEPT ONE   NOVELLUS 91-13-515