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光刻 :STEPPER

考虑到PSS制程对线宽的要求,普通曝光机图形尺寸和掩膜板尺寸一比一,目前不能满足PSS线宽精度的要求,现有NIKON STEPPER为5:1的步进投影光刻机。当前世界各国PSS行业大量采用,IC二手NIKON步进投影光刻机已经成为PSS制程的标准配置。



匀胶显影设备

通过高速旋转方式使胶滴(显影液)均匀涂布在基片上。并通过机械手将基片传递到热板上均匀烘干,然后在冷板上降温。全过程自动化的从片盒到片盒之间处理。


MALN BODY
TRANSFER ROBOT
SPIN UNIT
MULTI-STAGE OVEN