光刻事业部 成功案例
序号 |
设备型号 |
生产厂家 |
服务形式 |
客户名称 |
台数 |
年份 |
1 |
NSR1505G4D |
NIKON |
安装调试 |
北京燕东 |
6 |
2008 |
2 |
吉林麦吉柯 |
2 |
2008 |
3 |
新乡华丹 |
1 |
2008 |
4 |
扬州晶新 |
1 |
2009 |
5 |
NSR-1505G6E |
NIKON |
安装调试 |
吉林华微 |
2 |
2008 |
6 |
NSR-2005I10C |
NIKON |
安装调试 |
吉林华微 |
2 |
2008 |
7 |
杭州士兰 |
1 |
2011 |
8 |
NSR-1755I7/G7 |
NIKON |
安装调试 |
杭州士兰 |
7 |
2010 |
9 |
北京燕东 |
8 |
2011 |
10 |
台州水晶光电(LED)2寸 |
1 |
2012 |
11 |
台州水晶光电(LED)4寸 |
1 |
2012 |
12 |
维修 |
北京中科院 |
1 |
2012 |
13 |
NSR-2005I9C |
NIKON |
安装调试 |
杭州士兰 |
1 |
2010 |
14 |
吉林华微 |
2 |
2011 |
15 |
MPA-600Super |
Canon |
安装调试 |
北京燕东 |
1 |
2011 |
16 |
MPA-500Fab |
Canon |
安装调试 |
启东捷捷 |
2 |
2011 |
17 |
PLA-501FA |
Canon |
安装调试 |
启东捷捷 |
2 |
2011 |
18 |
MPA-600FA |
Canon |
安装调试 |
北京燕东 |
1 |
2012 |
合 计 |
42 |
|
注入事业部 成功案例
序号 |
设备型号 |
生产厂家 |
服务形式 |
客户名称 |
台数 |
年份 |
1 |
200SJ |
Varian- TEL |
安装调试 |
北京燕东 |
2 |
2007 |
2 |
NV-10-80 |
Axcelis/EATON |
安装调试 |
贵州永光 |
1 |
2008 |
3 |
NV6200A |
Axcelis/EATON |
安装调试 |
吉林华微 |
2 |
2008 |
4 |
NV-10-160 |
Axcelis/EATON |
安装调试 |
吉林华微 |
3 |
2009 |
5 |
350D |
VARIAN |
安装调试 |
无锡凤凰 |
1 |
2009 |
6 |
E220 |
VARIAN |
安装调试 |
东光微电 |
1 |
2010 |
7 |
E1000 |
VARIAN |
安装调试 |
杭州士兰 |
2 |
2010 |
8 |
120XP |
VARIAN |
安装调试 |
杭州士兰 |
2 |
2011 |
9 |
NV-10SD-80 |
SEN |
安装调试 |
福建安特 |
2 |
2010 |
10 |
NV-GSD-160 |
SEN |
安装调试 |
江阴新顺 |
1 |
2011 |
11 |
GSD HE |
SEN |
安装调试 |
东光微电 |
1 |
2012 |
12 |
PI9500XR |
APPLIED |
安装调试 |
东光微电 |
1 |
2012 |
合 计 |
19 |
|
薄膜刻蚀事业部 成功案例
序号 |
设备型号 |
生产厂家 |
服务形式 |
客户名称 |
台数 |
时间 |
1 |
P5000-CVD |
AMAT |
安装调试 |
深圳方正 |
7 |
2007-2008 |
2 |
安装调试 |
吉林华微 |
1 |
2009 |
3 |
改造调试 |
北京中科院 |
1 |
2011 |
4 |
P5000-ETCH |
AMAT |
安装调试 |
首钢NEC |
2 |
2007 |
5 |
芜湖德豪润达 |
1 |
2012 |
6 |
Varian 3180 |
VARIAN |
调试 |
无锡华晶 |
1 |
2008 |
7 |
CONCEPT 1 |
NOVELLUS |
安装调试 |
吉林华微 |
3 |
2009-2010 |
8 |
北京燕东 |
1 |
2011 |
9 |
扬州晶新 |
1 |
2011 |
10 |
LAM 4520 |
LAM |
安装调试 |
吉林华微 |
3 |
2010 |
11 |
LAM 9400 |
LAM |
安装调试 |
吉林华微 |
2 |
2010 |
12 |
ENDURA5500 |
AMAT |
安装调试 |
士兰集成 |
3 |
2011 |
13 |
成都SMIC |
2 |
2011 |
合 计 |
28 |
|
扩散事业部 成功案例
序号 |
设备型号 |
生产厂家 |
服务形式 |
客户名称 |
台数 |
年份 |
1 |
DFG840 |
DISCO |
安装调试 |
吉林华微 |
1 |
2011 |
2 |
DFG82IF |
DISCO |
安装调试 |
捷丰电子 |
1 |
2011 |
3 |
DFG841 |
DISCO |
安装调试 |
福建安特 |
1 |
2012 |
合 计 |
3 |
|